אור אולטרה סגול הורג מיקרואורגניזמים במהירות וביעילות באמצעות תהליכים פיזיים. כאשר חיידקים ווירוסים נחשפים אורך הגל germicidal של אור אולטרה סגול, הקשרים המולקולריים ב-DNA מיקרוביאלי יושמדו, ואת dimers וכתוצאה מכך יכול לנטרל את החיידקים. היעילות של קרני אולטרה סגולות germicidal תלויה במשך הזמן מיקרואורגניזמים נחשפים קרני אולטרה סגול. ביישומים חיטוי אוויר ופני השטח, אפקט UV מוערך על ידי חישוב מינון UV נמסר לאוכלוסייה מיקרוביאלית. מינון UV = עוצמת UV (בא לידי ביטוי באנרגיה לכל אזור יחידה) × זמן חשיפה במערכות רבות, מחזורים חוזרים ונשנים של אוויר או מים משמשים כדי להשיג חשיפה של מיקרואורגניזמים קרני UV. זה יכול להבטיח כי לאחר מעברים מרובים, קרני אולטרה סגול יעיל עבור המספר הגדול ביותר של מיקרואורגניזמים, ואת הקשרים המולקולריים של ה-DNA מיקרוביאלי נהרסים לאחר הקרנה מרובה.
בעת ביצוע חיטוי UVC, UVC יספק קרינה אולטרה סגולה, אשר אינו בטוח בסביבת העבודה בשלב זה. קרניים אולטרה סגולות מזיקות לעור ולעיניים, כך שתמיד להימנע מחשיפה ישירה ל-UVC. עם זאת, UVC יכול לספק חיטוי ללא שאריות, כך שאין צורך לדאוג משקעים מסוכנים שיש למחוק או לנטרל לאחר חיטוי.
תהליך החיטוי ידידותי לסביבה משום שאין כימיקלים מסוכנים או רעילים הדורשים אחסון או טיפול מיוחדים. מכיוון שאין צורך להוסיף כימיקלים לאוויר או למים במהלך תהליך החיטוי, התהליך לא יפיק מוצרי משנה. בנוסף, UV LEDs אינם דורשים טיפול מיוחד או סילוק, מה שהופך את מערכת החיטוי הזאת התחליף הירוק הטוב ביותר עבור כל החיטוי.
